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精密仪器洁净室工程

精密仪器洁净室工程

在精密仪器净化车间装修时,要求时根据行业不同,车间操作不同来划分等级来装修的。其中在半导体集成电路生产的光刻工序中,硅片露出在生产环境中,污染概率很高时元器件的废品率也会很高,所以精密仪器洁净室工程为避免出现这种伤害,现阶段在大规模半导体集成电路的洁净厂房中一般选用微环境,把加工工艺核心区隔离,在微环境的隔离区内做到所规定的空气洁净度等级和环境控制规定(M度、相对湿度、压力)。精密仪器工作区域是由人和/或自动处理设备对晶片开展加工的区域,为保障作业区域内产品免被污染,一般选用单向流或微环境把人和露出的产品隔离。

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